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屹唐股份(688729)经营总结
截止日期2025-06-30
信息来源2025年中期报告
经营情况  二、经营情况的讨论与分析
  伴随全球数字经济的迅速发展,半导体设备作为支撑现代电子信息产业发展的核心基础,将深度受益于全球数字化浪潮与持续的技术革新。人工智能技术及应用的爆发式发展,对高性能逻辑芯片及存储器芯片提出了更高要求,直接带动了先进制程半导体设备的需求。受益于国内晶圆厂持续扩产带来的强劲需求,中国大陆成为全球最大的半导体设备市场。作为植根中国全球化运营的高端半导体设备公司,屹唐股份迎来了良好的发展机会。
  公司自成立以来,始终坚持致力于通过自主研发创新为集成电路制造环节提供更先进处理能力和更高生产效率的集成电路设备,凭借多年持续自主研发与产品工艺积累,已形成包括干法去胶设备、快速热处理设备、干法刻蚀及等离子体表面处理设备在内的三类具有国际竞争力的成熟集成电路设备产品线。
  作为同时具备等离子体和晶圆快速热处理国际领先技术的集成电路专用设备公司,公司不断完善研发管理机制和创新激励机制,持续加大研发投入,充分发挥核心技术优势,以研发驱动业绩增长,打造世界一流的产品及服务。
  公司坚持植根中国的国际化经营策略,以中国、美国、德国三地作为研发、制造基地,面向全球经营,用国际一流的技术和产品,长期服务全球客户。公司的产品已被多家全球领先的存储芯片制造厂商、逻辑电路制造厂商等集成电路制造厂商所采用,服务的客户全面覆盖了全球前十大芯片制造商和国内行业领先芯片制造商。
  报告期内,公司实现营业收入24.82亿元,较上年同期增长18.77%;归属于上市公司股东的净利润为3.48亿元,较上年同期增长40.23%;归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为2.54亿元,较上年同期增长16.66%。
  1、生产研发方面
  公司采取自主研发、自主创新模式,以半导体设备国际技术发展趋势、客户需求为导向,依靠具有丰富经验的国际化研发团队,形成以研发、生产、市场一体化的创新机制,取得了集成电路制造领域干法去胶、快速热处理、干法刻蚀及等离子体表面处理设备关键核心技术领域的重要成果,并在全球主要半导体生产国家及地区申请专利保护,把研发成果快速产业化。
  2025年上半年公司研发投入总额3.67亿元,较上年同期增长6.76%,研发投入总额占营业收入比例为14.78%。
  为进一步提升公司集成电路装备研发制造产业化能力,提升产能规模及综合竞争力,公司以自筹资金预先投入建设“屹唐半导体集成电路装备研发制造服务中心项目”(以下简称“北京研发制造基地”),2023年9月,北京研发制造基地已建成投入使用。截至目前,北京研发制造基地已实现了干法去胶、快速热处理、干法刻蚀及等离子体表面处理三大类设备的批量生产,设备产量逐年增长,已成为公司最主要的设备制造基地。近年来公司持续加大研发投入,成功研发了多款技术领先的新型集成电路设备,其中部分设备已经过客户验证并获得重复订单。
  干法去胶设备方面,公司开发推出了新一代先进干法去胶设备Optima,该等离子体干法去胶设备系列产品可满足各类制程工艺需求,工艺效果优异,具备颗粒污染低、大规模量产综合持有成本低等卓越性能,该设备已通过关键客户量产验证并获得客户重复量产订单,客户需求也在持续增长。
  快速热处理设备方面,公司借助在高温快速热处理、等离子体源及超高产出设备平台等领域的技术积累,已开展新的研发工作,包括开发新一代常压快速热处理设备以提高现有设备性能,使其拥有更强的市场竞争力;开发先进低压快速热处理设备以全面覆盖各类制程需求;开发新型快速热处理设备,包括具备低热预算且具有选择性加热的新一代快速热处理设备以及集成多项连续工艺流程的快速热处理一体化设备。其中部分项目已完成产品开发,即将开展客户端验证。
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  干法刻蚀及等离子体表面处理设备方面,公司开发推出了新一代先进干法刻蚀设备RENA-E,该等离子体刻蚀机可以对离子能量和离子密度进行独立控制,具备刻蚀速度快、晶圆器件等离子体损伤小、器件性能表现优异、反应腔损耗品寿命长等各项卓越性能,还可以高效应对介质材料和金属材料的复杂膜层刻蚀。该设备已通过关键客户量产验证并获得客户重复量产订单,客户需求也在持续增长。
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  公司开发的先进等离子体表面处理和材料改性设备Escala利用专利技术产生高浓度化学反应自由基,在低热预算下有效改善各种薄膜材料的性质和性能,广泛应用于存储器和逻辑半导体制造中金属薄膜电阻率降低,裂缝修复,增强钨薄膜选择性沉积,增强可流动化学气相沉积介质薄膜致密度等。该设备已通过关键客户技术验证,并实现重复量产订单。
  除了上述已量产的新产品之外,为了更好地满足国内外客户对于干法刻蚀及等离子体表面处理设备的广泛需求,进一步提升公司在干法刻蚀及等离子体表面处理设备领域的可服务市场规模,公司目前已开展多项新型干法刻蚀及等离子体表面处理设备研发项目,部分项目已完成产品研发,即将开展客户端验证。
  2、供应保障方面
  为实现物料按时供应、保质保量、成本可控且长期稳定供应,公司建立了严格、科学的供应链管理体系,实行多部门共同参与的有效管理,从需求预测、库存管理、供应商管理三方面进行动态协调。为降低采购成本、缩短采购时间,降低供应链风险,公司积极推进供应链多元化、本土化策略。
  3、运营管理方面
  公司运营管理涵盖客户订单管理、供应链管理、仓储物流管理、生产管理、质量管理、环境安全及职业健康管理、信息化管理、厂务管理等。公司持续完善数字化运营管理体系,通过企业资源管理系统(ERP)、生产执行系统(MES)、质量管理系统(QMS)等先进工具的协同应用,实现全流程精细化管理。
  报告期内,公司设备准时交付率稳定在高水平、产品质量持续提升,整体运营效率持续提升。
  4、知识产权保障方面
  公司形成了严格的知识产权保护机制,有效防止公司核心技术外泄。公司与核心技术人员、研发人员签订了《专有信息和创新转让协议》等相关协议,相关知识产权、研发成果得到了法律的保障。报告期内,公司新增专利申请24项,其中发明专利24项。截至2025年6月30日,公司已申请721项专利,其中发明专利720项;已获授权专利474项,其中发明专利473项。
  5、人才建设方面
  公司建立了公平有效的激励机制和晋升渠道,为员工提供良好的工作环境及可持续发展的职业发展平台。同时,公司还设置了员工持股计划,并且由公司高级管理人员及核心员工设立的专项资产管理计划参与了公司首次发行股票并上市的股票战略配售,通过建立并持续完善公司与员工的利益共享机制,有效提高了公司管理团队及关键技术人员的忠诚度及凝聚力,强化员工对公司的认同感,提高其工作积极性。未来,公司将继续完善人才激励机制,采用上市公司股权激励工具丰富员工激励方式,实现员工与公司长期稳定发展。
  非企业会计准则财务指标变动情况分析及展望
  报告期内公司经营情况的重大变化,以及报告期内发生的对公司经营情况有重大影响和预计未来会有重大影响的事项。
  

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